靶材為什要測量密度？秒準靶材密度計的優勢在哪里？

 靶(ba)材本身的致(zhi)密度，靶(ba)材的致(zhi)密度很高時(shi)，不(bu)易(yi)(yi)吸附，無空隙，背靶(ba)易(yi)(yi)脫落。

為了減少靶(ba)材(cai)固體中的(de)(de)氣孔，提高濺射(she)(she)薄(bo)膜的(de)(de)性(xing)能(neng)，通(tong)常要求靶(ba)材(cai)具有較高的(de)(de)密(mi)度。靶(ba)材(cai)的(de)(de)密(mi)度不僅影(ying)響(xiang)濺射(she)(she)速率(lv)，還影(ying)響(xiang)著薄(bo)膜的(de)(de)電學(xue)和光學(xue)性(xing)能(neng)。靶(ba)材(cai)密(mi)度越高，薄(bo)膜的(de)(de)性(xing)能(neng)越好。此外，提高靶(ba)材(cai)的(de)(de)密(mi)度和強度使靶(ba)材(cai)能(neng)更(geng)好地(di)承受濺射(she)(she)過程中的(de)(de)熱應力。密(mi)度也是靶(ba)材(cai)的(de)(de)關鍵性(xing)能(neng)指標之一(yi)。

靶(ba)(ba)材(cai)在生產制造(zao)的過程中需要對其密度進行測試，采用(yong)的方法是阿基米德原理，儀器自動計算出(chu)靶(ba)(ba)材(cai)密度g/cm3。目前(qian)生產的測試采用(yong)人工對靶(ba)(ba)材(cai)進行測量，由于靶(ba)(ba)材(cai)重量大，操(cao)(cao)作(zuo)不便(bian)，不利于手(shou)動計算測試密度。因此需要一種(zhong)專用(yong)密度儀進行操(cao)(cao)作(zuo)。因此解決這(zhe)一問題(ti)就顯得十(shi)分(fen)必(bi)要。

如何測量靶材的密度？

陶瓷靶材密度測試儀MAY-AE10應用于各種靶材材料。按材質分類可分為金屬靶材(純金屬鋁、鈦、銅、鉭等)、合金靶材(鎳鉻合金、鎳鈷合金等)、陶瓷化合物靶材(氧化物、硅化物、碳化物、硫化物等)。按應用領域分類靶材可分為半導體芯片靶材、平板顯示靶材、太陽能電池靶材、信息存儲靶材等等都可以測密度。
原理：根據ASTM B311、B328；MPIF 42、57；JIS Z2505、Z2506、GB/T5163、ISO2738。可適用(yong)于采(cai)用(yong)阿基米德原理浮力(li)法，準確直讀(du)量測數值。

秒準靶材密度計經過市場10幾年的驗證以及不斷的研發升級，現已具備以下特點：
1、數顯直讀(du)，無需(xu)人工計算，直接(jie)顯示(shi)密度和體積等(deng)參數。

2、全彩7寸觸摸屏操作，自帶打印功能，可編輯帶公司名稱物料編碼的數據報告。
3、采用梅特勒原裝進口傳感器，測量精準、操作簡便、穩定耐用。
4、具有實際(ji)水溫補償功能(neng)，可適應測試環境變化。

5、可設定媒介液密度，使用水作介質，也可使用其它液體介質。
6、采(cai)用SUS304一體水槽，耐腐(fu)蝕耐摔，底部設(she)計(ji)靜音萬向(xiang)輪(lun)，便于移動(dong)。

7、含USB通信(xin)接(jie)口(kou)，方便與電腦連接(jie)。

8、內置靜音排水系統，方便換水。
功能描述：

1、直接讀(du)取靶材工件的(de)密度和體積。

特別備注：秒準靶材密度計支持非標定制，已經為多家用戶實現自動化密度測試儀非標定制，搭配機械手/吊機，自動完成密度測試，自動輸出數據。
技術參數：